国内初導入のEUV露光装置 その仕組みと革新性（電波新聞デジタル） – Yahoo!ニュース

         

「史上最も精密な機械」とも言われる半導体製造装置の搬入・設置作業が、国内で初めて始まった。最先端半導体の生産を目指すラピダスは18日、北海道千歳市で

「史上最も精密な機械」とも言われる半導体製造装置の搬入・設置作業が、国内で初めて始まった。最先端半導体の生産を目指すラピダスは18日、北海道千歳市で ...続きを確認する

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