AI半導体に欠かせぬ「EUV露光装置」、国内導入相次ぐ ラピダスは2台目 – 日本経済新聞

         

最先端半導体の量産に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置の国内導入が相次いでいる。1台300億円以上の高価な装置だが、2025年は3台が設置された。

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